主要用途：
CIH型全自动返工片清洗机型：专门用于硅片放入置具当中，进行返工清洗 漂洗 烘干等用途。途中涵盖自动上料。自动供酸碱，自动排酸碱 自动供水 自动排水 自动下料，等功能。清洗类型涵盖单晶，多晶，硅片尺寸兼容125（5″），156（6″），片盒尺寸兼容25片装 、50、100片装，具体规格可根据客户要求设计制造。整个过程只需要将专用篮具 （25/50/100片）定期进行更换即可，创造可观的经济收益。